產(chǎn)品概述
高精度微組裝系統(tǒng)T-5300W是高質(zhì)量、高靈活性的半自動(dòng)裸芯片貼裝機(jī),供選配的功能模塊能滿足目前工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域所需的各種應(yīng)用,True Vertical Technology? 磚利是真正意義上的垂直貼裝技術(shù),能在任意貼片高度保證芯片與基板之間的平行。該型號(hào)在T-5300的基礎(chǔ)上加裝配置了晶圓臺(tái)及頂針系統(tǒng),可直接從晶圓上拾取芯片。
應(yīng)用領(lǐng)域:
芯片貼裝, 芯片分選, 高精度倒裝, 3D封裝, MEMS, MOEMS, VCSEL封裝, 光電器件封裝, 超聲工藝, 熱壓超聲工藝, RFID,
傳感器組裝, 點(diǎn)膠鍵合, 共晶鍵合 (AuAu, AuSn, .....)
產(chǎn)品特點(diǎn)
具有出色人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的多功能芯片鍵合平臺(tái),可通過(guò)程序控制的高精度Z軸驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),高精度鍵合壓力控制
技術(shù)參數(shù)
1 XY移動(dòng)(貼裝平臺(tái)): 220mm x 220mm (手動(dòng))
2 XY移動(dòng)(晶圓臺(tái)): 220mm x 220mm (手動(dòng))
3 Z移動(dòng): 120mm (自動(dòng))
4 吸片頭旋轉(zhuǎn): 360°(手動(dòng))
5 鍵合壓力(標(biāo)準(zhǔn)): 20g - 4000g (可選其它壓力范圍內(nèi))
6 鍵合壓力重復(fù)精度: ±1g
7 Z軸移動(dòng)分辨率: ±1μm
8 *大基板尺寸: 400mm x 280mm
9 貼裝精度: ±1μm(帶分光棱鏡),±10μm(目視顯微鏡)
10 外部連接: 壓縮空氣5~6 bar / 真空0.3 bar (abs)
11 外形尺寸: 1155mm x 790mm x 728mm
12 重量: 95kg (approx.)
13 輸入電壓: 110V/220V, 50-60Hz
深圳辦地址:深圳市寶安區(qū)翻身路48區(qū)理想居A棟21E
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